Poluvodički kvarcni pločica

Semixlab Semiconductor Quartz wafer čamci su ključni alati za ležajeve dizajnirani za procese na visokim temperaturama kao što su difuzija, oksidacija, CVD, žarenje itd., u proizvodnji poluvodiča. Izrađeni od sintetičkog kvarca visoke čistoće s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, kemijskom stabilnošću i niskim koeficijentom toplinskog širenja, mogu stabilno nositi pločice u teškim procesnim okruženjima kako bi se osigurala konzistentnost procesa i prinos proizvoda.

Primjenjiva oprema: Kompatibilno sa svim vrstama horizontalnih/vertikalnih difuzijskih peći (horizontalna/vertikalna difuzijska peć), LPCVD sustavom i opremom za brzu toplinsku obradu (RTP).

Osiguranje kvalitete

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Standardi certifikacije: U skladu sa specifikacijama SEMI F47, putem certifikacije sustava upravljanja kvalitetom ISO 9001:2015.

Vijek trajanja: prosječni vijek trajanja u normalnim uvjetima je više od 2 godine (ovisno o učestalosti procesa i temperaturnim uvjetima).

Zašto odabrati naš kvarcni brod?

Prilagođene usluge: Prilagođena veličina i konstrukcija prema modelu opreme (TEL, Kokusai, ASM, itd.) i zahtjevima procesa.

Brzi odgovor: Standardno vrijeme isporuke je 3 tjedna, hitne narudžbe mogu se skratiti na 10 radnih dana.

Globalna servisna mreža: Pružamo tehničke savjete, smjernice za instalaciju i podršku nakon prodaje. Specifikacije materijala.

Specifikacija projekta

Sinteza materijala Taljeni kvarc

Čistoća ≥99.99% SiO₂

Kompatibilnost veličine pločice 8", 12" (može se prilagoditi 6" ili 18")

Radna temperatura ≤1200°C (kontinuirano) / 1300°C (vršno)

Koeficijent toplinskog širenja (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Hrapavost površine (Ra) ≤0.2 μm

Standardni kapacitet 25/50/100 tableta

Primjenjivi procesni plinovi O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl itd.

Oksidacija/difuzija na visokim temperaturama: dopiranje silicijem (difuzija fosfora, bora), rast oksida vrata.

Taloženje tankog filma: LPCVD polikristalni silicij, taloženje silicijevim nitridom (Si₃N₄).

Proces žarenja: žarenje nakon ionske implantacije (RTA), legiranje metala.

Poluvodič treće generacije: silicijev karbid (SiC), galijev nitrid (GaN) epitaksija.

1. Karakteristike materijala

Kvarc ultra visoke čistoće (>99.99% SiO₂): izbjegava onečišćenje metalnim ionima (Na+, K+, Fe³+, itd.) i zadovoljava zahtjeve čistoće za napredne procese (čvorovi <5 nm).

Otpornost na visoke temperature: kontinuirana radna temperatura od 1200°C, trenutna temperaturna otpornost od 1300°C, bez rizika od deformacije ili kristalizacije.

Kemijska inertnost: Otporan na procesne plinove poput HCl, H₂, O₂, SiH₄ i kisele/alkalne sredine. Nekorozivan pri dugotrajnoj upotrebi.

2. Precizan dizajn

Optimizirajte strukturu:

Točnost razmaka između utora je ±0.05 mm, što osigurava precizno pozicioniranje pločice (8/12 inča) i sprječava ogrebotine ili pomicanje.

Dizajn otporan na toplinske udare, prilagođava se brzom porastu i padu (brzina zagrijavanja ≤20°C/min).

Nisko stvaranje čestica: Površina je ultra precizno polirana (Ra ≤0.2 μm) kako bi se smanjilo prianjanje i otpadanje čestica.

3. Diverzificirana konfiguracija

Kapacitet (opcionalno): Podrška za 25 komada, 50 komada, 100 komada i druge standardne specifikacije, također se može prilagoditi nestandardnom broju utora.

Prilagodba tipa: Otvoreni brod, zatvoreni brod ili poseban tip broda (kao što je dizajn kanala za preusmjeravanje na dnu broda).

P1: Možete li pružiti nestandardnu ​​veličinu ili poseban dizajn?

A1: Semixlab podržava prilagođene usluge, uključujući prilagodbu veličine, gornju granicu temperature (potrebna je nadogradnja materijala) ili vrstu sučelja. Za specifične zahtjeve obratite se Semixlabovom tehničkom timu.

P2: Koliko je vremena potrebno za isporuku?

A2: Vrijeme isporuke za standardne proizvode je 4-6 tjedana, a vrijeme dizajna i provjere za prilagođene proizvode je 2-3 tjedna.

P3: Pružate li postprodajnu tehničku podršku?

A3: Da, pružamo doživotne tehničke konzultacije i usluge hitnog odgovora. U slučaju problema s instalacijom ili korištenjem, tim za podršku možete kontaktirati u bilo kojem trenutku putem e-pošte ili telefona.

P4: Ispunjava li proizvod standarde poluvodičke industrije?

A4: Da, proizvodni proces je u skladu sa SEMI standardima i certificiran je sustavom upravljanja kvalitetom ISO 9001. Svaka serija se testira na nepropusnost zraka, otpornost na temperaturu i čistoću prije nego što napusti tvornicu.