EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC konzolne lopatice
Semixlabove SiC konzolne lopatice su precizno konstruirane komponente dizajnirane za rukovanje pločicama u visokotemperaturnim poluvodičkim procesima kao što su epitaksija, oksidacija i CVD. Izrađene od visokočistog rekristaliziranog ili CVD silicijevog karbida, ove lopatice nude izvrsnu toplinsku vodljivost, nisko toplinsko širenje i iznimnu kemijsku otpornost. Njihov lagani dizajn visoke čvrstoće osigurava dimenzijsku stabilnost i zaštitu pločice tijekom brzog termičkog cikliranja. Semixlab, kojem vjeruju globalni lideri u poluvodičkoj industriji, nudi potpuno prilagođena rješenja, brzu isporuku i dugi vijek trajanja proizvoda - što ga čini idealnim partnerom za napredne potrebe proizvodnje poluvodiča.
Opis
Ⅰ. Konzolne lopatice od visokočistog SiC-a za precizno rukovanje pločicama
SiC konzolne lopatice su ključne komponente koje se koriste u opremi za termičku obradu za rukovanje pločicama tijekom epitaksije, difuzije i oksidacije u proizvodnji poluvodiča. Njihova iznimna toplinska i mehanička svojstva čine ih idealnim za visokotemperaturne i korozivne okoline u čistim sobama.
Ⅱ. Pregled proizvoda i funkcionalne prednosti
1. Iznimna svojstva materijala za visokoučinkovite primjene
Semixlabove SiC konzolne lopatice izrađene su od visokočistih, rekristaliziranih silicijevih karbidnih (R-SiC) ili CVD SiC premaza, pružajući izvrsnu toplinsku vodljivost (do 120 W/m·K), nisko toplinsko širenje (~4.0 x 10⁻⁶/K) i izvanrednu otpornost na koroziju i toplinski šok. Ova svojstva osiguravaju stabilnu potporu pločice tijekom procesa na visokim temperaturama, minimizirajući rizik od deformacije pločice ili kontaminacije.
2. Vrhunska dimenzijska stabilnost i ravnost
S minimalnim savijanjem čak i na temperaturama iznad 1400 °C, konzolni dizajn osigurava ujednačeno postavljanje i prijenos pločice, što je ključno za ujednačenost epitaksijalnog sloja. Mala masa i visoka krutost SiC-a poboljšavaju propusnost sustava i temperaturni odziv tijekom brze termičke obrade.
3. Čistoća površine na razini čiste sobe
Zahvaljujući gustoj i glatkoj površinskoj obradi SiC-a, Semixlab lopatice minimiziraju stvaranje čestica i ispuštanje plinova. To je posebno važno u okruženjima koja zahtijevaju razinu čistoće klase 1 ili ISO 14644-1 klase 2.
4. Prilagođeno za epitaksijalne, difuzijske i CVD peći
Naše SiC konzolne lopatice se široko koriste u MOCVD, LPCVD i oksidacijskim pećima, kompatibilne s vodećim markama opreme kao što su ASM, TEL i Veeco. Projektirane su za optimalnu toplinsku ujednačenost i mehaničku preciznost, što pomaže u osiguravanju većeg prinosa i manjih varijacija u procesu.
Ⅲ. Zašto odabrati Semixlab?
Pružamo inženjerske usluge po mjeri, uključujući:
● Prilagodba proizvoda veličini, strukturi i kvaliteti materijala
● Optimizacija premaza za toplinsku i kemijsku otpornost
● Brza izrada prototipova i mogućnosti proizvodnje malih serija
● Tehničko savjetovanje i validacija dizajna
Kao vodeći kineski proizvođač i tvornica SiC konzolnih lopatica, Semixlab inzistira na pružanju prilagođenih tehnoloških i proizvodnih rješenja. Bez obzira želite li optimizirati postojeći proces toplinske obrade, kupiti visokoučinkovite zamjenske dijelove ili zajednički razviti prilagođena SiC rješenja, Semixlab će vam pružiti tehničku i dostavnu podršku.
Aplikacije
● Nosači MOCVD epitaksijalnih pločica
● Lopatice oksidacijske i difuzijske peći
● Sustavi za punjenje pločica u LPCVD/CVD alatima
● Prilagođeni potporni krakovi susceptora za rast složenih poluvodiča
Naše usluge
Trgovina Semixlab proizvodima
