SiC keramika

SiC keramika se sve više koristi u poluvodičkoj opremi, uglavnom zato što bolje podnosi teže uvjete. Kada temperatura postane visoka ili proces postane agresivniji, materijali poput kvarca ili silicija mogu početi pokazivati ​​ograničenja, i tu obično dolazi do izražaja SiC. U procesima peći poput oksidacije ili difuzije, dijelovi poput lađica s pločicama ili lopatica izrađenih od SiC-a obično traju dulje. Zadržavaju svoj oblik i ne unose puno onečišćenja, čak ni nakon dugih ciklusa. Ljudi često prelaze s kvarca iz tog razloga, posebno kada održavanje postane prečesto.

Za jetkanje se često bira SiC jednostavno zato što dulje preživi plazmu. Razlika u životnom vijeku u usporedbi sa silicijskim dijelovima primjetna je u mnogim postavkama, iako i dalje ovisi o točnom procesu. Također pomaže malo kod kontrole čestica, koja postaje osjetljivija kako se čvorovi smanjuju. Također ćete vidjeti SiC koji se koristi kao susceptori u MOCVD ili CVD. U tim slučajevima, manje se radi o "čvrstoći", a više o održavanju stabilnog temperaturnog ponašanja. Osim toga, pojavljuje se u dijelovima komore poput obloga ili tuševa, a ponekad i u komponentama za rukovanje.