Vakuumska peć za vruće prešanje za lijepljenje SiC kristalnih sjemenki

Vezivanje kristala sjemena jedan je od ključnih procesa koji utječu na rast kristala. Na temelju karakteristika vezivanja kristala sjemena, Semixlab je razvio specijaliziranu opremu za vakuumsko vruće prešanje za vezivanje kristala sjemena. Ova oprema učinkovito smanjuje razne nedostatke nastale tijekom procesa vezivanja, čime se poboljšava prinos vezivanja kristala sjemena i konačna kvaliteta kristala.

Ⅰ. Uvod u opremu za vakuumsko vruće prešanje za vezanje kristala sjemena

1. Koristi se za vezanje kristala prije rasta SiC kristala;

2. Zalijepljene sjemenke održavaju prianjanje na 2300°C bez odvajanja, postižući 100% lijepljenje bez mjehurića s visokom ravnošću i čistim površinama pločica bez adsorpcije nečistoća;

3. Grijaća ladica koristi otporno grijanje tipa diska, što osigurava ravnomjernu raspodjelu temperature, siguran rad i jednostavno rukovanje;

4. Senzori tlaka postavljeni ispod pladnja precizno prikazuju tlak primijenjen na obradak.

II. Funkcionalni pregled opreme za vruću prešu za vakuumsko prešanje kristala sjemena

Semixlabova vakuumska peć za vruće prešanje kristala silicij-karbida dizajnirana je za vruće prešanje kristala silicij-karbida uz pomoć vakuuma.

1. Dvoslojna, vodom hlađena metalna komora učinkovito smanjuje temperaturu površine peći, minimizira opasnosti od visokih temperatura i smanjuje utjecaj na okoliš;

2. Sposoban za automatsku primjenu i držanje tlaka, postupno opterećenje i pomicanje s automatiziranim upravljanjem;

3. Različite konfiguracije vakuumskog sustava omogućuju odabir različitih razina vakuuma na temelju zahtjeva procesa;

4. Ravnomjerna raspodjela tlaka i visoka preciznost kontrole temperature;

5. Primjena tlaka koristi precizne mehaničke mehanizme potiska za točnu i stabilnu isporuku tlaka, osiguravajući siguran rad i ekološku kompatibilnost;

6. Univerzalni zglobni spoj između gornje glave preše i potisne šipke jamči adaptivnu paralelnost između gornje glave i donje ladice tijekom prešanja, osiguravajući ravnomjernu raspodjelu tlaka;

7. Gornja glava preše uključuje primjenu amortizirajućeg pritiska za glatku, nježnu isporuku sile bez udara, sprječavajući lom obratka;

8. Temperaturni senzori integrirani u ploču za prijenos topline povezani su s regulatorom temperature, omogućujući preciznu temperaturu grijanja i programsku kontrolu;

9. I paleta i gornja glava preše uključuju izolacijske uređaje za smanjenje gubitka topline.

Ⅲ. Performanse i značajke opreme za vruće prešanje kristala sjemena Semixlab

1. Postupna vakuumska ekstrakcija s kontroliranom brzinom pumpanja;

2. Velika komora za obilje mogućnosti nadogradnje;

3. Stabilna glava preše s automatiziranim radom;

4. Regulacija i otpuštanje tlaka s automatskim nagibom tlaka i regulacijom recepta;

5. Precizna kontrola temperature s programabilnim ciklusima temperature i tlaka;

6. Prilagodljivi parametri vakuuma, tlaka i temperature za različite procese lijepljenja;

7. Gusto lijepljenje bez mjehurića;

8. Ultra niska stopa loma - praktički nema loma uzrokovanih uređajem;

9. Kompatibilnost: Podržava pločice od 6-12 inča;

10. Maksimalni tlak prema dolje: 1.6 T;

11. Krajnji vakuum: 5 Pa (hladno);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

Parametri peći za vruće prešanje za lijepljenje sjemena