Kvarcni dijelovi

Kvarc je još uvijek svugdje u obradi poluvodiča. Nije nov, ali je pouzdan i većina tvornica je upoznata s njegovim ponašanjem. Sve dok se kontrolira čistoća, dobro funkcionira u koracima difuzije, oksidacije i čišćenja.

Mnogo kvarcnih dijelova ide u sustave peći ili PECVD alate. Glavno očekivanje je stabilnost - ne nužno dug vijek trajanja, već predvidljive performanse. To je obično dovoljno dobro za mnoge standardne procese.

Naravno, kvarc ima svoja ograničenja. Može se brže istrošiti u određenim uvjetima, posebno u usporedbi sa SiC-om. Ali budući da ga je relativno lako nabaviti i nije preskup, ljudi ga i dalje prilično često koriste.