Kvarcni disk za poluvodički proces

Poluvodička industrija zahtijeva komponente iznimne čistoće i preciznosti. Kvarcni diskovi su temelj u ovom području, igrajući ključnu ulogu u raznim visokotemperaturnim i kemijski zahtjevnim procesima izrade poluvodiča. Semixlab kvarcni disk za poluvodičke procese izrađen je od visokočistog sintetičkog taljenog silicija (SiO2) kako bi se postigla iznimna toplinska stabilnost, kemijska otpornost i ultra niska kontaminacija. Ovi poluvodički kvarcni diskovi koriste se za CVD taloženje tankih filmova, ALD, PVD raspršivanje, difuziju/žarenje, RTP, plazma jetkanje (RIE/ICP).

Svojstva i karakteristike materijala

Naši poluvodički kvarcni diskovi izrađeni su od visokočistog taljenog kvarca, materijala poznatog po svojim iznimnim svojstvima. Ključne karakteristike naših kvarcnih diskova uključuju:

● Visoka čistoća: Budući da sadrže minimalne nečistoće, naši kvarcni diskovi sprječavaju kontaminaciju osjetljivih poluvodičkih pločica, što je bitno za održavanje integriteta i prinosa uređaja.

● Izvrsna toplinska stabilnost: S niskim koeficijentom toplinskog širenja, kvarcni diskovi mogu izdržati ekstremne temperaturne fluktuacije bez pucanja ili savijanja. To ih čini idealnim za visokotemperaturne procese poput žarenja, difuzije i oksidacije.

● Kemijska inertnost: Kvarc je vrlo otporan na većinu kiselina i kemikalija koje se koriste u obradi poluvodiča, uključujući fluorovodičnu kiselinu (HF) i sumpornu kiselinu (H2SO4). Ova kemijska inertnost osigurava stabilno i nereaktivno okruženje za pločice.

● Visoka transparentnost: Taljeni kvarc ima visoku transparentnost za ultraljubičasto (UV) svjetlo, što je ključno za fotolitografiju i druge optičke procese.

Naši kvarcni diskovi dostupni su u raznim veličinama i debljinama, s tipičnim parametrima koji uključuju:

● Čistoća: >99.995%

● Koeficijent toplinskog širenja: ~0.54 x 10−6/°C (pri 20-300°C)

● Točka omekšavanja: ~1600 °C

● Dostupni promjeri: Do 300 mm

Primjene u proizvodnji poluvodiča

Visokočisti kvarcni diskovi su neophodni u nekoliko ključnih poluvodičkih procesa. Njihove specifične primjene uključuju:

● CVD (kemijsko taloženje iz parne faze): Kvarcni diskovi se koriste kao susceptorske ploče ili obloge u CVD reaktorima. Njihova toplinska stabilnost i kemijska inertnost osiguravaju jednoliko zagrijavanje i okruženje bez kontaminacije za procese taloženja tankih filmova.

● PVD (Fizičko taloženje iz parne faze): U PVD procesima poput raspršivanja, kvarcni diskovi služe kao podloge za mete ili držači supstrata. Mogu izdržati visoku kinetičku energiju procesa taloženja uz održavanje dimenzijske stabilnosti.

● Oksidacija i difuzija: Kao obloga za peći ili kao komponenta lađice za pločice, kvarcni diskovi su sastavni dio procesa oksidacije i difuzije na visokim temperaturama. Oni sprječavaju da kontaminacija metalom sa stijenki peći dospije do silicijskih pločica.

● Žarenje: Kvarcni diskovi pružaju čistu i stabilnu površinu za toplinsko žarenje, proces koji se koristi za popravak oštećenja kristalne rešetke i aktiviranje dopanata u poluvodičkim uređajima.

Semixlab Advantage: Vaš partner u proizvodnji poluvodiča

U Semixlabu, mi smo više od samog proizvođača poluvodičkih kvarcnih diskova. Mi smo partner posvećen vašem uspjehu, koji nudi niz usluga osmišljenih za pojednostavljenje vašeg poslovanja i povećanje učinkovitosti vaših procesa.

● Prilagodba: Razumijemo da je svaki proces izrade jedinstven. Naš tim može izraditi prilagođene kvarcne diskove prilagođene vašim specifičnim dimenzijama, čistoći ili zahtjevima primjene.

● Tehničke konzultacije: Naši tehnički stručnjaci pružaju detaljne konzultacije kako bi vam pomogli odabrati idealan kvarcni proizvod za vaš specifični proces, osiguravajući optimalne performanse i dugotrajnost.

● Brza izrada prototipa i usluga uzoraka: Nudimo brze rokove izrade prototipova i uzoraka, što vam omogućuje brzo i učinkovito testiranje i validaciju naših proizvoda. To ubrzava vaše cikluse istraživanja i razvoja te smanjuje vrijeme do plasiranja na tržište.

Za procesne inženjere i kupce koji traže pouzdane noseće ploče, izolacijske štitove i optičke nosače, Semixlab nudi kvarcne diskove s niskim stupnjem tolerancije i defekata koji poboljšavaju prinos i produžuju vrijeme rada alata. Iskreno se radujemo što ćemo postati vaš dugoročni partner u Kini.