EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Mekani filc visoke čistoće
Semixlabov mekani filc visoke čistoće posebno je konstruiran za zahtjevne primjene u termalnim poljima visokih temperatura u proizvodnji poluvodiča. Proizveden od visokokvalitetnih prekursora na bazi ugljika i pročišćen naprednom obradom, ovaj mekani filc pruža ultra niske razine nečistoća, izvrsnu toplinsku izolaciju i izvanrednu strukturnu prilagodljivost. Njegova fleksibilna struktura omogućuje precizno prilagođavanje složenim dizajnima termalnih polja, omogućujući optimizirane temperaturne gradijente i stabilne procesne uvjete. Radujemo se vašem upitu.
Opis
Zašto je čistoća važna u termalnim poljima? Pri proizvodnji treće generacije?
poluvodiči (SiC/GaN), tradicionalni izolacijski filcovi s visokim udjelom pepela (preko 500 ppm) imaju tendenciju oslobađanja metalnih nečistoća na temperaturama iznad 1600°C. To uzrokuje defekte u rešetki i smanjuje prinos pločice.
Semixlabov mekani filc prolazi kroz naš ekskluzivni proces kemijskog pročišćavanja na visokim temperaturama, čime se ukupna razina nečistoća smanjuje na manje od 5 ppm. To ne samo da osigurava čisto okruženje za rast, već i pruža ekstremnu toplinsku stabilnost potrebnu za dugotrajan rast kristala.
Semixlab Edge
Mi smo više od dobavljača - mi smo vaš partner za visokotemperaturne zone. Osnovani od strane istraživača CAS-a, izvrsni smo u kombiniranju izolacijskih rješenja s CVD premazima (TaC/SiC). Ne isporučujemo samo izolacijski filc; optimiziramo vaše cijelo toplinsko polje pomoću grafitnih grijača i poroznog TaC-a kako bismo smanjili potrošnju energije. Naša interna 5-osna CNC obrada omogućuje prilagođene, unaprijed sastavljene komplete koji precizno odgovaraju vašem dizajnu peći bez grešaka.
Tehnički podaci
| Nekretnine | Vrhunski filc na bazi PAN-a | Visokokvalitetni filc na bazi viskoze |
| Ukupne nečistoće | ≤5 ppm (GDMS) | ≤10 ppm |
| Sadržaj ugljika | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Nasutna gustoća | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Toplinska kond. (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m²·K |
| Maks. servisna temperatura | 2800°C (inertno/vakuum) | 2600°C (inertno/vakuum) |
| Standardna debljina | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Aplikacije
Kritične aplikacije
Dokazane performanse na terenu:
Projektiran za rast SiC i silicija (PVT/CZ), naš filc djeluje kao toplinski stabilizator za suzbijanje kristalnih dislokacija. U MOCVD/epitaksiji (kompatibilno s Aixtronom, NuFlareom), ostaje inertan pod korozivnim H2/NH3 protocima, blokirajući difuziju nečistoća. Za izvlačenje vlakana i sinteriranje safira, njegovo svojstvo nultog ispuštanja plinova osigurava integritet vakuuma i sprječava gubitak prinosa.
Konkurentska prednost
Osnovne prednosti
Ultra visoka čistoća (<5 ppm), testirano GDMS-om. Strogo kontrolirani Al, B, Fe i ostale ključne nečistoće kako bi se izbjegla unakrsna kontaminacija pri epitaksijalnom rastu.
Izvrsna toplinska izolacija: toplinska vodljivost niska do 0.12 W/m·K na 1000°C, smanjujući gubitak topline i kontrolirajući toplinski gradijent unutar ±1°C.
Nisko otpuštanje čestica: Optimizirana obrada vlakana i površine smanjuje prašinu u vakuumskim ciklusima, štiteći CVD (TaC/SiC) grafitne susceptore i grijače.
Visoka fleksibilnost i pristajanje: Mekan i stlačiv za bešavno omatanje od 360° na složenim pećima, sprječavajući toplinske propuštanja iz krute izolacije.
Česta pitanja
Optimizirana često postavljana pitanja
P: Kako Semixlab mekani filc poboljšava vijek trajanja grafitnih grijača?
A: Pružajući stabilniji toplinski štit, naš mekani filc smanjuje opterećenje snage potrebno grijaču za održavanje ciljanih temperatura, čime se usporava sublimacija ugljika i oksidacija grafitnih grijaćih elemenata.
P: Može li se vaš filc koristiti u okruženjima s visokim protokom plina?
O: Da. Za procese s velikom brzinom plina (poput MOCVD-a), preporučujemo naš filc visoke gustoće na bazi PAN-a ili hibridno rješenje s grafitnom folijom, što sprječava eroziju vlakana i osigurava nultu kontaminaciju česticama.
Naše usluge
