TaC obložena LED epi susceptor

LED epi susceptor s TaC premazom koristi tehnologiju premaza od tantal karbida (TaC) visoke čistoće, koja je posebno dizajnirana za MOCVD (metalorganskokemijsko taloženje iz pare) opremu i prikladna je za proces taloženja LED epitaksijalnih pločica na visokim temperaturama. Proizvod ima izvrsnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju i toplinsku stabilnost, što može značajno smanjiti onečišćenje i rasipanje čestica te produžiti vijek trajanja. Idealan je izbor za poboljšanje prinosa i učinkovitosti proizvodnje LED epitaksijalnih pločica.

Primjena:

LED epi susceptor s TaC premazom posebno je dizajniran za MOCVD opremu i uglavnom se koristi u proizvodnji LED epitaksijalnih pločica, posebno za epitaksijalni rast plavih i ultraljubičastih LED dioda na bazi galijevog nitrida (GaN). Također može zadovoljiti proizvodne potrebe SiC/GaN poluvodičkih energetskih uređaja i prikladan je za visokotemperaturne CVD, MBE i druge eksperimente taloženja materijala u znanstveno-istraživačkim institutima.

Usluge koje se mogu pružiti:

analiza scenarija korisničke aplikacije, usklađivanje materijala, rješavanje tehničkih problema.

Profil tvrtke:

Semixlab ima 2 laboratorija, tim stručnjaka s 20 godina iskustva u materijalima, s mogućnostima istraživanja i razvoja te proizvodnje, testiranja i verifikacije.

Tehnički parametri

Glavna područja primjene

Ovjera ekološkog lanca

Ekološka provjera lanca Semixlab TaC obloženih LED epi susceptora obuhvaća sve dijelove od sirovina do proizvodnje, prošao je međunarodnu certifikaciju standarda i ima niz patentiranih tehnologija koje osiguravaju njegovu pouzdanost i održivost u području poluvodiča i nove energije.

Tipičan postupak prijave

Priprema sirovine (Inspekcija grafita visoke čistoće) → Izrada podloge (Izostatsko prešanje) → Postupak nanošenja TaC premaza (CVD nanošenje) → Naknadna obrada (Precizno poliranje) → Inspekcija kvalitete → Pakiranje i dostava

Kako se LED tehnologija razvija prema manjim veličinama i većoj preciznosti, kao što su Mini LED i Micro LED, zahtjevi za stabilnošću i kontrolom procesa MOCVD opreme postaju sve veći. Promocija TaC obloženog LED epi susceptora ne samo da može poboljšati učinkovitost postojeće LED proizvodnje, već i pružiti pouzdaniju proizvodnu osnovu za sljedeću generaciju tehnologije prikaza.

Za detaljne tehničke specifikacije, bijele knjige ili dogovore o testiranju uzoraka, obratite se našem timu za tehničku podršku kako biste istražili kako Semixlab može poboljšati učinkovitost vašeg procesa.

Prednosti Semixlab TaC obložene LED epi susceptorske jezgre

Otpornost na super visoke temperature

LED epitaksijalni susceptori s TaC-obloženim materijalom izrađeni su od visokočistog tantal karbidnog materijala, koji može stabilno raditi dugo vremena u okruženjima s visokim temperaturama iznad 1200°C. Čak i pod ekstremnim temperaturnim uvjetima MOCVD procesa, premaz neće pucati ili se ljuštiti, što osigurava ujednačenost i konzistentnost epitaksijalnog procesa rasta i učinkovito poboljšava prinos proizvoda.

Izvrsna otpornost na koroziju

Tijekom procesa proizvodnje LED epitaksijalnih pločica, susceptor mora biti dugotrajno izložen korozivnim plinskim okruženjima poput H2 i NH3. TaC premaz ima izuzetno jaku kemijsku inertnost i može učinkovito odoljeti eroziji plinom i izbjeći nečistoće nastale oksidacijom ili reakcijom, čime se osigurava čistoća i optoelektroničke performanse epitaksijalne pločice.

Niska toplinska deformacija

Koeficijent toplinskog širenja TaC premaza u velikoj je mjeri usklađen s koeficijentom grafitne podloge, a susceptor može održavati izuzetno nisku stopu toplinske deformacije čak i tijekom brzog porasta i pada temperature. Ova značajka može uvelike smanjiti rizik od epitaksijalnog savijanja pločice, osigurati jednolik rast epitaksijalnog sloja i poboljšati konzistenciju proizvoda.

Visoka završna obrada površine

Površina susceptora je precizno polirana, s hrapavošću kontroliranom ispod 0.5 μm, što učinkovito smanjuje stopu defekata tijekom epitaksijalnog rasta. Glatka površina također može smanjiti prianjanje između epitaksijalne pločice i susceptora, što olakšava uklanjanje pločice i smanjuje rizik od loma pločice.

Dizajn dugog vijeka

U usporedbi s tradicionalnim grafitnim susceptorima, TaC premaz ima bolju otpornost na habanje i koroziju, a njegov vijek trajanja može se povećati za više od 3 puta. To ne samo da smanjuje učestalost zamjene potrošnog materijala, već i smanjuje fluktuacije procesa uzrokovane starenjem susceptora, što dugoročno može značajno smanjiti troškove proizvodnje.